基体温度对线性离子束技术制备α-C：H薄膜结构和性能的影响

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采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氧化类金刚石（α-C：H）薄膜，通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究了基体温度对α-C：H薄膜微观结构、表面形貌、耐磨性以及…

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