衬底偏压对掺铬类石墨碳膜组织、性能及碳键结构的影响（上）

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采用非平衡磁控溅射离子镀技术在不同衬底偏压下沉积了掺铬类石墨非晶碳膜，研究了衬底偏压对其显微组织、硬度、内应力、结合强度和碳键

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