沉积温度对类金刚石涂层表面形貌和性能的影响（一）

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采用直流等离子体增强化学气相沉积（DC-PECVD）技术，在不同温度下与YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石（DLC)涂层，探讨了沉积温度对

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