24对棒多晶硅还原炉的辐射传热数值模拟

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在还原炉中制备多晶硅需要密闭且高温的环境，用传统检测方法获得炉内温度场分布比较困难。本文基于FLUENT仿真计算平台，对硅棒生长至50、100、150mm时的24对棒多晶硅还原炉的辐射传热进行三维…

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