采用原位反应法在石墨坩埚表面制备SiC涂层

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通过原位反应在石墨坩埚切片表面成功制备了SiC涂层，并对其进行了循环热氧化试验，研究了SiC涂层的形成机理以及烧结温度和时间对涂层厚度的影响

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