反应磁控溅射方法制备CNχ薄膜的高温抗氧化性能

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采用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了CNχ薄膜，通过改变氮气和氩气的流量比来调整CNχ薄膜中的氮含量，并采用XRD、HR-TEM、SEM、FTIR和显微硬度计等对薄膜的结构及其在300，400,500,60…

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