MAIP镀TiN薄膜结构形貌的研究

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本文采用多弧离子镀膜（MAIP）技术在高速钢基片表面镀TiN后，用XRD和SEM对膜层组织结构、形貌进行了分析。结果显示，在高速钢基片表面的为TiN薄膜，该TiN膜致密，但在薄膜表面有少量白色…

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