沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响

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采用多弧离子镀方法在低温（166K）、室温（300K）以及不同氩气压力（0.2~0.8Pa）条件下沉积钛薄膜，通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研…

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