碳含量对WCN纳米复合薄膜结构和性能的影响

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采用多靶反应磁控溅射技术在不同碳靶功率下制备了WCN纳米复合膜，采用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜结构和性能进行表征，研究了碳含量对WCN复合膜的影响。

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