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气相沉积TiAIN薄膜及其性能分析
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利用非平衡磁控溅射离子镀设备，在轴承钢和硬质合金表面沉积TiAlN薄膜，并对薄膜结构和主要性能进行了分析。所镀薄膜厚度可超过3μm，薄膜的生长比较好，形成了细化的柱状晶粒。经断口扫描分…
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TiAIN
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