硅基底TiO2纳米管阵列的制备

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本文采用磁控溅射方法在硅基低上沉积一层金属钛膜，用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管陈列所用的金属钛片。

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关键字：基底 TiO2 纳米管

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