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Si（111）和Si（110）衬底上AIN薄膜的激光分子束外延生长特征
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采用激光分子束外延技术在Si（111）和Si（100）衬底上制备了ALN薄膜，研究了衬底温度和激光能量对薄膜物相结构和形貌的影响。
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