等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展

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简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展，主要介绍了复合处理的工艺进展，复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性，并对复合处理的应用前景进行了展望。

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