ATO透明导电薄膜的研究进展

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概述了国内外掺锑氧化锡（ATO）透明导电薄膜制备技术的研究现状，包括溶胶凝胶法、射频磁控溅射法、喷雾热解法、化学气相沉积法等，对比分析了各种制备方法的优缺点和及其所制备薄膜的性能。

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