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直流溅射法制备纳米金的工艺及形成机制

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利用直流建设仪制备了纳米进薄膜,并通过随后的退火处理得到了纳米金颗粒,研究了不同衬底、溅射时间、退火温度机时间对纳米金颗粒形成的影响规律。结果表明,衬底对纳米金的形成有显著的影响,

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关键字:直流 溅射 制备