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基体温度对磁控溅射TiN薄膜电化学性能的影响

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采用直流反应磁控溅射方法在AISI304不锈钢和Si(100)表面沉积了TiN薄膜,利用场发射扫描电镜、X射线衍射仪和电化学技术研究了基体温度对TiN薄膜结构与电化学性能的影响。

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关键字:体温 溅射 薄膜