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基体负偏压对CrAlN涂层组织和性能的影响
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采用真空多弧离子镀技术，使用Cr30Al70（原子分数）复合靶，在不同的基体负偏压下，在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层；采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微镜硬度仪…
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基体
偏压
CrAlN
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