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不同偏压对沉积CrMoN涂层耐磨性能的影响

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采用非平衡闭合场磁控溅射技术,在冷作模具钢Cr12MoV表面制备不同偏压CrMoV涂层。通过XRD SEM显微硬度和磨损试验分析等方法考察涂层的相结构、力学性能与耐磨性。

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关键字:不同 偏压 沉积