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磁控溅射法ZnO-TiO2复合薄膜的制备及性能

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采用双靶共溅射的方法在FJL600EI型超高真空多功能磁控溅射仪上制备不同复合量的ZnO-TiO2复合薄膜,对不同工艺参数制备的ZnO-TiO2复合薄膜进行形貌结构分析、光催化性测定和亲水性检测。

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关键字:溅射 ZnO-TiO2 复合