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小角X射线衍射技术在TiAlN涂层中的应用
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主要采用常规X射线衍射法（XRD）和小角X射线衍射法对微米级厚度的Ti0.5Al0.5N涂层分别进行了物相检测、晶格常数计算和残余应力测定，并对测量结果进行了比较。
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