微晶纳米金刚石复合涂层的沉积与表征

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采用偏压增强热丝CVD（HFCVD）法，通过引入惰性气体Ar，在经过甲醇新预处理方法处理后的硬质合金衬底表面成功沉积了微晶/纳米金刚石复合涂层。

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