含硅类金刚石膜硬度压痕测试的有限元模拟

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使用Abaqus有限元软件通过加载荷与加载位移两种方法对含硅类金刚石进行了压痕测试模拟，得到了不同硅含量类金刚石膜的硬度曲线。

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