晶体行为对SUS304钢表面溅射蚀刻圆锥状碳化物生成的影响

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张清廉1,2 , 王荣光2 ,中佐啓治郎2 ,加藤昌彦2 (1. 宝山钢铁股份有限公司,中国　上海　201900; 2. 广岛大学, 日本　广岛　739 - 8527) 　　摘要:研究用射频磁控溅射设备对SUS304…

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