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微弧氧化制备BaTiO3介电薄膜的电解液体系优化

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用正交试验法对BaTiO3薄膜微弧氧化电解液体进行优化,并对最优电解液体系下所得薄膜的物相组成,元素分布情况、表面形貌及介电性能进行表征。结果表明

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