靶基间距对电弧离子镀中大颗粒形貌和分布的影响

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利用电弧离子镀方法在基体上制备了TiN薄膜，研究了靶间距对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电子显微镜（SEM）观察了TiN薄膜的表面形貌，利用

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