射频空心阴极等离子体放电气体分布的有限元模拟

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为了得到较为优化的射频空心阴极等离子体放电参数，提高放电气体分布的均匀性，以改善材料表面改性的均匀性，构建了射频空心阴极等离子体放电气体流动的数学模型，

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