氮气流量对（Ti,Al,Si,Cr)N超硬薄膜的结构与性能的影响

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采用等离子增强磁控溅射技术（PEMC）在YG8硬质合金表面制备了（Ti,Al,Si,Cr）N超硬膜，研究了N2流量对膜层结构、成分、形态特征与性能的影响。

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